Alpha 21264とは、1998年にDEC社(当時)が発表した64ビットマイクロプロセッサ。第3世代のAlphaプロセッサで、Alpha 21164の後継にあたる。 登場時で600MHz、現行モデルのAlpha 21264Aは最高1GHzで動作する。基本的な設計思想は他のAlphaシリーズと同じで、高クロック化しやすいようになっているが、Alpha 21264ではアウトオブオーダー実行や分岐予測が可能になるなど、他のプロセッサと同様にクロックあたり性能の高速化も図られている。 OSは同社のDIGITAL UNIX(Tru64 UNIX)やOpenVMS、Microsoft社のWindows NTシリーズなどが対応していた。他のAlphaシリーズのプロセッサと同様、高性能サーバや、科学技術計算や3次元グラフィックスの製作などに使うワークステーションなどに使われた。